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德國(guó)PI位移平臺(tái)將亞納米分辨率和導(dǎo)向精度與小串?dāng)_相結(jié)合。這使其特別適合于計(jì)量學(xué)，超分辨率顯微鏡，干涉測(cè)量或半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)檢查系統(tǒng)中的應(yīng)用。壓電撓性位移臺(tái)可用于毫秒級(jí)的精確定位和動(dòng)態(tài)掃描，在高達(dá)6個(gè)自由度的情況下可達(dá)幾百赫茲。
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